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GB/T 37049-2018产品解决方案

标准链接
http://c.gb688.cn/bzgk/gb/showGb?type=online&hcno=95672B82237E00023306FF984338279E

标准名称
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

标准号
GB/T 37049-2018

洁净度标准
ISO 5;GB/T 25915.1-2021代替GB/T 25915.1--2010

检测对象
GB/T 12963中在基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、纳含量的测定


说明:为保证实验准确性,本实验要求在三个不同的实验实进行平行实验。
实验步骤 操作内容 所需耗材&仪器 所需试剂
1 自制10ppt硝酸、氢氟酸、硫酸 PFA酸纯化器、PFA试剂瓶 化学纯硝酸、氢氟酸;或外购超纯酸
2 自制10pp硫酸 石英酸纯化器、PFA试剂瓶 化学纯硫酸;或外购超纯酸
3 自制超纯水,如有必要用亚沸蒸馏器再次纯化 超纯水机、PFA亚沸蒸馏器(备用)、PFA试剂瓶 二级水或自来水
4 配置质量分数为16.7%的硫酸 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 步骤1备好的10ppt硫酸;
步骤2备好的超纯水
5 配置硝酸 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 步骤1备好的10ppt硝酸;
步骤2备好的超纯水
6 配置消解液 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 步骤1备好的硝酸与氢氟酸
7 将样品破碎至直径为5~10mm 钨钼合金锤  
8 将样品放入步骤3配好的消解液中消解清洗,剥离全部表面层后用纯水清洗 PFA烧杯 步聚6配好的消解液
9 将样品烘干至恒重 PFA烧杯、PFA涂层电热板、分析天平  
10 称样:0.5g~1.0g,精确至0.0001g,进行3次测定,取算术平均值 分析天平、PFA勺子、PFA溶样瓶  
11 配置铁、铬、镍、铜、锌、纳混合元素标准溶液,各元素浓度为100ug/L; 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 有证标液,超纯水
12 配置钇、钴标准溶液,各元素浓度为1mg/L 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 有证标液,超纯水
13 配制标准系列工作溶液 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 步骤3备好的超纯水、步骤5配制好的硝酸、步骤11配制好的混合元素标准溶液
14 配制钇和钴标准工作溶液,浓度为2ug/L 容量瓶,移液枪,量筒,滴管,滴瓶,试剂瓶、超纯水机 有证标液,步骤3备好的超纯水
15 制备样品溶液 PFA烧杯、溶样瓶、PFA涂层电加热板 步骤6配制好的消解液、步骤5配制好的硝酸
16 仪器准备,确认纯水及设备不存在污染 ICP-MS、超纯水机  
17 上机检测--样品空白溶液、样品溶注、标准系列工作溶液,内标法校正 ICP-MS、PFA进样系统等(含雾化器、雾室、进样小瓶等) 载气
18 结果分析