基本原理
通常的被动减振体系如图所示，由需要减振的装置（mass M）和一个弹簧阻尼单元组成，它可以减小来自地板的高频振动。但由于这种体系会在本征频率时引起共振而增加振动，通常被动减振体系会设计成2 Hz 到5 Hz的本征频率和1%到5%的轻微阻尼。主动减振体系是用一个调节器代替了粘滞阻尼器，根据sky-hook 阻尼控制理论，将减振装置（mass M）绝对速度的比例量作为反馈作用于减振装置，这样大大提高了减振的效果。
应用领域
• 扫描探针显微技术（AFM, STM）
• 纳米力学探针
• 扫描电子显微技术（SEM, FE-SEM）
• 共聚焦显微术
• 超高真空扫描隧道显微术（UHV-STM）
• 激光扫描显微镜
• 液晶生产设备
• 半导体检测仪器
• 膜片钳 （Patch-Clamp）技术
• 光学轮廓仪
• 生命科学Screening stations
• 显微硬度检测仪
• 光学干涉仪
• 超微量天平